• Optotherm Micro 外观图

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OPTOTHERM红外热成像显微镜,Optotherm Micro红外热成像显微镜,这是一台专为微观热成像设计,这是一台专为高端科研设计,用来测量微观热分布情况,除具有传统红外热成像的优势外,还具有如下特点:

1.  高分辨率红外热成像:640*480像素,60hz高帧数,最高5um分辨率

微加热台 Micro heater

微加热台 Micro heater,6.4mm 由于需要采用非接触方式来测量MEMS元件的温度,因此Micro是一款用于微观温度表征的强大工具,可提供高达5μm/像素空间分辨率的详细热图像。

分析鉴别微米及的红外图案,可用于特殊领域防伪鉴定,如微电子器件、IC等的防范标识鉴别。

而MEMS气体传感器由于其体积小(mm级),传感器需要自加热到一定温度后,其传感器的精度才能达到最高,这就要求在研发和测试过程中对MEMS气体传感器的电阻丝温度测量,需要使用红外热成像显微镜,如图电阻丝只有几十微米

MEMS气体传感器 电阻丝只有几十微米 传感器需要自加热到一定温度后,其传感器的精度才能达到最高,这就要求在研发和测试过程中对MEMS气体传感器的电阻丝温度测量,需要使用红外热成像显微镜.

导管加热线圈等小型医疗 直径为500微米 温度分布和热响应时间对于表征其性能非常重要。Micro提供了精确的非接触式测量方法,具有高达5μm/像素的空间分辨率。

激光二极管 laser-diode

光纤通信 等应用的持续增长导致对诸如激光二极管之类的电光器件有更高的要求,关于功率要求和散热。Micro提供了一种有效的方法来分析器件材料和热衬底的热性能。

芯片晶圆热分布,对于微观器件,真实热分布由于微观器件包含多种发射率不同的材料,需要像素级发射率校正

芯片晶圆热分布,3。2*2。4mm 对于微观器件,真实热分布由于微观器件包含多种发射率不同的材料,需要像素级发射率校正

2,专为科研设计的选配件:

1)XY高精度移动平台,120*120mm,步进精度为10um

infrared-microscope-xy-stage

 

2)自动控制上电的继电器(八通道):可以精准控制上电及开关,比如设计上电30s后断电,这个过程同步录像或拍照

自动继电器

3)两种可选高精度热台:可以控制真正0℃-80℃,0℃–130℃,可以给样品均匀加热或降温,设置一定实验环境

高精度热台0℃-130℃

 

4)探针台:微小器件的上电工具,扎针上电 ,
微探针台

微探针台

5)发射率涂层套件:对于发射率低的器件,可以通过喷枪施加薄(1-2微米)聚合物涂层以增加表面的发射率。可承受高达200°C的连续温度
发射率涂层工具

发射率涂层工具

 

3,功能强大的软件:

1) 点,线,面的温度分析,最高点显示跟踪,研究。

line profile

线性分布:画一条线上的热分布,可通过移动垂直线,知道准确位置的准确温度

area Histogram

区域热分布表:区域内不同温度的分布情况,可以移动垂直线知道该温度下有多少像素点

Strip Chart

热分布曲线表:可跟踪若干个点、线、面的最高,最低,平均温度,可通过移动垂直线,对某一具体时间的温度情况就行研究

2)发射率校正:像素级发射率校正,修正发射率导致的温度测量偏差,制作发射率表
热发射率表

热发射率表,系统自带像素级热发射率计算和校正软件,移动鼠标可知任一点的发射率,通过校正,可测得样品的真实热分布

 

3)可见光及其他照片叠加,可以调节红外图像和可见光图片的透明度
光学图像和热图叠加,通过选择透明度或过滤低温,将热图和光学或其他图像进行叠加

光学图像和热图叠加,通过选择透明度或过滤低温,将热图和光学或其他图像进行叠加

 

4)一秒拍摄60张照片,生成照片,结合上述功能,可全面的观测分析温度与时间的关系,温度于空间的关系

总结:

Optotherm Micro红外显微镜,作为一台专为微观红外热成像研发和设计的专业系统,是做微观热分析不可或缺的一个有力工具,其专为作为热成像显微镜做的优化,牺牲掉普通热成像便携性,可充电等各种方便宏观热成像的功能,同时,为微观热成像研究添加诸多实用和创新的功能,这使得其成为MEMS,电子器件,激光器件,LED,传感器,氮化镓器件,SIC,IGBT,微观医疗器件等等,MEMS热成像分析, 光纤热像检测,测量微型换热器的传热效率, 半导体气体传感器的热分析,微反应器的温度特性,微致动器的温度测量,生物样品的温度分析, 材料热检验,热流体分析等等,是关注微观热分布的科研或生产必不可少的一个工具。

对于Optotherm Micro 红外显微镜相关的应用或调研,可以联系optotherm中国区应用实验室进行送样和评估。

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